| 摘要 |
Die Erfindung beschreibt ein elektrochemisches Ätzverfahren zum Ätzen feiner Filterporen in einen n- oder p-dotierten Silizium-Rohling, wobei die Filterporen einen annähernd konstanten Porenquerschnitt haben. Der Rohling wird als Anode oder Kathode verschaltet, in eine Ätzlösung eingetaucht, in der eine Gegenelektrode zur Erzeugung eines Ätzstroms angeordnet ist und mit Licht betrahlt, wodurch in Rohling Minoritätsladungsträger erzeugt werden. Die Erzeugungsrate der Minoritätsladungsträger wird dabei über die Bestrahlung so gesteuert, dass sie mit zunehmendem Ätzfortschritt, d.h. mit zunehmender Porentiefe, abnimmt.
|
