| 摘要 |
<p>Im Gegensatz zu bekannten Verfahren zur Herstellung der vertikalen elektrischen Verbindungen werden beim vorliegenden Verfahren Proseßschritte bei der Herstellung der vertikal integrierbaren Schaltung selbst verwendet, um die vertikale Integration zu ermöglichen. Dadurch wird der Ablauf der Herstellung von vertikal integrierbaren Schaltungen und damit der dreidimensionalen integrierten Schaltung insgesamt vereinfacht, wodurch Anlagenlaufzeiten optimiert werden, da Prozeßschritte gespart werden. Weil zur Herstellung der vertikalen elektrischen Verbindungen zudem nicht mehr von fertig prozessierten Substraten ausgegangen wird, wird zudem eine verbesserte Ausbeute erreicht, da Prozeßschritte, welche insbesondere die bereits hergestellten aktiven Schaltungsbestandteile verändern könnten, wie z.B. Schritte mit hohen Prozesstemperaturen, nach der Herstellung der Schaltungsbestandteile nicht mehr nötig sind.</p> |
