测量物体表面形貌的朗奇光栅纹影仪装置

摘要

本发明属于物体表面形貌的测量技术领域,由光路元件及将各光路元件固定结合为一体的机械结构所组成,所说的光路元件包括激光器组件、分光镜、反射镜、准直透镜、二维朗奇光栅及摄像装置;机械结构包括连成一整体的竖套筒、横套筒、立柱、底板、导轨和导轨座;以及各光路元件的装配结构。本纹影仪装置不仅可同时获取x、y两方向上的面形变化梯度信息,而且具有结构紧凑、装配简单,使用方便的特点。

主权项

1、一种测量物体表面形貌的朗奇光栅纹影仪装置，由光路元件及将各光路元件固定结合为一体的机械结构所组成，所说的光路元件包括由激光器、扩束物镜和小孔滤波器所组成激光器组件、分光镜、反射镜、准直透镜、由二维朗奇光栅构成的空间滤波器及摄像装置；所说的机械结构包括连成一整体的竖套筒、横套筒、立柱、底板、导轨和导轨座；以及小孔滤波器的二维调节机构，扩束物镜调节机构，激光器组件的装配结构，朗奇光栅与摄像装置的装配结构，反射镜调节机构；其连接关系为：安装有激光器组件的装配结构垂直连接在该横套筒的一侧，该分光镜安装在横套筒中位于激光器组件前方且与激光器组件的光轴成45°斜角；该反射镜调节机构安装在竖套筒顶部，使该反射镜与水平光轴倾斜成45°，该准直透镜设置在竖套筒底部的被测物体上方；装有朗奇光栅及摄像装置的装配结构安装在导轨上，导轨座安装在立柱上端。