| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100267959(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.01 |
| 申请号 |
KR19940006129 |
申请日期 |
1994.03.26 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED;HORIIKE, YASUHIRO |
发明人 |
FUKASAWA, TAKAYUKI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/507;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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