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发明名称 DRY-ETCHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100266943(B1) 申请公布日期 2000.11.01
申请号 KR19920014092 申请日期 1992.08.06
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KUMIHASHI, TAKAO;TSUJIMOTO, KAZUNORI;TACHI, SHINICHI
分类号 C23F4/00;G03F7/36;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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