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发明名称
FORMING METHOD OF QUANTUM STRUCTURE
摘要
申请公布号
KR100267261(B1)
申请公布日期
2000.11.01
申请号
KR19980037585
申请日期
1998.09.11
申请人
KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人
PARK, YONG-JU;KIM, EUN-KYU
分类号
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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