发明名称 声表面波元件的制造方法
摘要 本发明提供了一种声表面波元件的制造方法,包含以下步骤:设置具有叉指式换能器的压电基片,所述叉指式换能器具有比所述压电基片更高的密度;同时离子轰击所述叉指式换能器和所述压电体,以便减小叉指式换能器和压电体的厚度。
申请公布号 CN1271996A 申请公布日期 2000.11.01
申请号 CN00108182.9 申请日期 2000.04.28
申请人 株式会社村田制作所 发明人 高田英一;山本康治;米田年麿;门田道雄
分类号 H03H3/08 主分类号 H03H3/08
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 沈昭坤
主权项 1.一种声表面波元件的制造方法,其特征在于包含以下步骤:设置具有叉指式换能器的压电基片,所述叉指式换能器具有比所述压电基片更高的密度;同时离子轰击所述叉指式换能器和所述压电体。
地址 日本京都府