拉晶炉用热屏蔽

摘要

一种热屏蔽,用于拉晶炉内,它环绕由单晶炉内装填半导体熔体原料的坩埚生长出来的单晶毛坯。该热屏蔽包括一种反射器,其所具有环绕正在生长毛坯的开口的尺寸和形状能减少来自坩埚的传热。反射器适合安放在拉晶炉内熔体材料和摄像机之间,摄像机对准毛坯和熔体材料上表面之间所形成弯月面上至少三个隔开的点。反射器有至少三个通道伸展通过反射器,每个通道沿着摄像机和弯月面上一个点之间的一条假想线定位,从而让摄像机看到这些点,使摄像机能测定这些点的位置来计算毛坯直径,同时将穿过通道的热散失减至最小。

主权项

1.一种拉晶炉用热屏蔽，它环绕由单晶炉内装填半导体熔体原料的坩埚中生长出来的单晶毛坯，该热屏蔽包括一种反射器，其所具有环绕正在生长毛坯的中央开口的尺寸和形状能减少来自坩埚的传热，反射器适合安放在拉晶炉内熔体材料和摄像机之间，所述摄像机对准毛坯和熔体材料上表面之间所形成弯月面上至少三个隔开的点，反射器有至少三个通道伸展通过反射器，每个通道沿着摄像机和弯月面上一个点之间的一条假想线定位，从而让摄像机看到这些点，使摄像机能测定这些点的位置来计算毛坯直径，同时将穿过通道的热散失减至最小。