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发明名称 Ion implanter
摘要
申请公布号 GB2349269(A) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 GB19990008953 申请日期 1999.04.19
申请人 * APPLIED MATERIALS INC 发明人 ROBERT JOHN CLIFFORD * MITCHELL;KEITH * RELLEEN;JUSTIN * LOWE
分类号 C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/20 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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