发明名称 Improvements in and relating to grinding and polishing machines
摘要
申请公布号 SG75909(A1) 申请公布日期 2000.10.24
申请号 SG19980006210 申请日期 1997.06.11
申请人 UNOVA U.K. LIMITED 发明人 STOCKER MARK ANDREW;FALKNER DERMOT ROBERT;MORANTZ PAUL MARTIN HOWARD;PIERSE MICHAEL GEORGE
分类号 B24B9/06;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
主权项
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