发明名称 |
Improvements in and relating to grinding and polishing machines |
摘要 |
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申请公布号 |
SG75909(A1) |
申请公布日期 |
2000.10.24 |
申请号 |
SG19980006210 |
申请日期 |
1997.06.11 |
申请人 |
UNOVA U.K. LIMITED |
发明人 |
STOCKER MARK ANDREW;FALKNER DERMOT ROBERT;MORANTZ PAUL MARTIN HOWARD;PIERSE MICHAEL GEORGE |
分类号 |
B24B9/06;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B9/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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