使用单个存储器用于并行和扫描方式测试的集成电路测试系统

摘要

一种半导体测试系统具有扫描测试方式和并行测试方式。单个存储器基本上使用其所有存储空间储存a)在并行测试方式过程中使用的并行测试矢量,和b)在扫描测试方式过程中使用的并行测试矢量和扫描测试矢量。开关用于从并行测试方式改变为扫描测试方式。耦合到单个存储器的模式发生器操纵在并行测试方式过程中使用的并行测试矢量和在扫描测试方式过程中使用的并行和扫描测试矢量。通过交替存取该存储器和从该存储器并行读出测试矢量,提高了扫描测试方式的速度。通过产生多个扫描链并将其施加于被测器件(DUT)的多个管脚,可以进一步减少处理时间。最后,通过多路传送被传输到总线的扫描链数据,可以提高输送扫描链数据到DUT管脚的总线的时钟速度。

主权项

1.一种半导体测试系统，包括：用于所述测试系统的扫描测试方式，用于所述测试系统的并行测试方式，单个存储器，可使用其基本上所有存储空间用于储存：a)在所述测试系统的所述并行测试方式过程中使用的并行测试矢量，和b)在所述扫描测试方式过程中使用的并行测试矢量和扫描测试矢量，用于在所述并行测试方式和所述扫描测试方式之间转换的开关，模式处理器，可耦合到所述单个存储器上，从而操纵a)在所述测试系统的所述并行测试方式过程中使用的所述并行测试矢量以测试集成电路，和b)在所述扫描测试方式过程中使用的所述并行测试矢量和扫描测试矢量以测试集成电路。