| 发明名称 |
PROCESS APPARATUS FOR FABRICATING LSI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100269712(B1) |
申请公布日期 |
2000.10.16 |
| 申请号 |
KR19980015789 |
申请日期 |
1998.05.01 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
UESUGI, FUMIHIKO;ITO, NATSUKO |
| 分类号 |
G01N15/00;C23C16/52;G01N21/47;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
G01N15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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