有源矩阵阵列衬底及其制造方法

摘要

一种具有排列成矩阵的有源元件和用来驱动有源元件的一条以上的扫描线和数据线的有源矩阵阵列衬底。每一扫描线通过扫描线测试电阻与公共扫描总线相连,并且每一数据线通过数据线测试电阻与公共数据总线相连。每一数据线用金属多层构成,并且每一扫描线测试电阻和数据线测试电阻由该金属多层的最下面的层构成。采用这种结构,可以防止在制造过程中出现扫描线4和数据线5或相邻数据线5之间的静电击穿。因此,可以实现具有较好产量的有源矩阵阵列衬底及其制造方法。

主权项

1.一种有源矩阵阵列，其特征在于，它包含：多个在衬底上排列成矩阵阵列的有源元件；对所述多个有源元件进行扫描的多条扫描线；向所述多个有源元件提供多个图象数据的多条数据线；公共扫描总线；公共数据总线；多个扫描线测试电阻，用来将所述多条扫描线中的每一条与所述公共扫描线相连；以及多个数据线测试电阻，用来将所述数据线中的每一条与所述公共数据总线相连；其中，所述数据线中的每一条和所述公共数据总线包含含有多个金属层的合成多层结构，具有上金属层和下金属层的合成多层结构，以及所述多个扫描线测试电阻中的每一个和所述多个数据线测试电阻中的每一个包含没有至少所述上金属层的所述多层结构。