| 发明名称 |
Method and apparatus for sputter coating |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0803587(B1) |
申请公布日期 |
2000.10.04 |
| 申请号 |
EP19970112040 |
申请日期 |
1997.07.15 |
| 申请人 |
UNAXIS TRADING AG |
发明人 |
HAAG, WALTER;GRUENENFELDER, PIUS |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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