| 发明名称 |
Test gas detection with quarz glass film, heater, and gas extracting vacuum meter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0712488(B1) |
申请公布日期 |
2000.10.04 |
| 申请号 |
EP19940921645 |
申请日期 |
1994.07.14 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BOEHM, THOMAS;DOEBLER, ULRICH |
| 分类号 |
G01M3/20;G01M3/22;(IPC1-7):G01M3/20 |
主分类号 |
G01M3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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