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发明名称 A COUPLING FIXATION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR CHEMICAL TRANSFER LINE
摘要
申请公布号 KR200196945(Y1) 申请公布日期 2000.10.02
申请号 KR19980002542U 申请日期 1998.02.25
申请人 KIM, CHOL - WON 发明人 KONG, HEE-TAEK
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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