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发明名称 Silicon carbide based self-aligned contact process
摘要
申请公布号 GB0019965(D0) 申请公布日期 2000.09.27
申请号 GB20000019965 申请日期 2000.08.14
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC 发明人
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/60;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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