| 主权项 |
1.一种用来做气体面板装配的一个制程气体生产线,以处理许多制程气体,其包括:一个气体进口,用来接收来自一个制程气体来源的制程气体;一个一件式歧管,具有至少一个侧面延伸的歧管表面,并且具有一个歧管进口,以连通气体进口,来接收制程气体,该一件式歧管具有一个内部气体通路,通常在一个侧面的方向、从歧管进口来载带制程气体至歧管出口,该歧管沿着歧管表面具有数个装置连接埠,以连通内部气体通路,来固定从歧管表面延伸的装置,并且与连接埠连通气体流通;并且一个制程气体出口,其连接至歧管出口。2.一种处理多种制程气体的一个气体面板,包括:数个一件式的歧管本体,该歧管本体的每一个具有至少三个相同的组件接收站,每一个该组件接收站具有一个气体进口及一个气体出口,从许多组件接收站当中的第一个,该气体出口与歧管有永久性的连接而至气体进口,再至一个邻近的组件接收站;数个气体组件,该气体组件的每一个被连接至在歧管基座之一上的个别接收站,该气体组件包括至少一个阀门及至少一个质量流量控制计。3.根据申请专利范围第2项的气体面板,其中该气体组件之一包括一个净化器。4.根据申请专利范围第2项的气体面板,其中该气体组件之一包括一个过滤器。5.根据申请专利范围第2项的气体面板,其中该气体组件之一包括一个压力转换器。6.根据申请专利范围第2项的气体面板,其中该阀门包括一个气控阀。7.根据申请专利范围第2项的气体面板,其中该阀门包括一个手动阀门。8.根据申请专利范围第2项的气体面板,其中该阀门包括一个压力调节计。9.一种气体面板,包括:数个一件式的歧管本体,该歧管本体每一个之上具有至少三个相同的组件接收站。该组件接收站的每一个具有一个气体进口及一个气体出口,从许多组件接收站当中的第一个,该气体出口与歧管有永久性的连接而至气体进口,再至一个邻近的组件接收站;一个气体关闭阀门连接至歧管基座之一上的接收站之一;并且连接一个质量流量控制计,从气体关闭阀门处接收气体。10.根据申请专利范围第9项的气体面板,进一步包括一个净化器,其连接至该一件式歧管本体。11.根据申请专利范围第9项的气体面板,进一步包括一个过滤器,其连接至该一件式歧管本体。12.根据申请专利范围第9项的气体面板,进一步包括一个压力转换器,其连接至该一件式歧管本体。13.根据申请专利范围第9项的气体面板,进一步包括一个压力调节器,其连接至该一件式歧管本体。14.一种气体面板,包括:一个底板;许多从其中之底板延伸的柱体,该向上延伸之柱体的每一个可针对底板而调整;并且一个一件式的气体面板歧管,位于针对底板可调整的柱体上,该气体面板歧管具有数个活性装置接收站在其上,使得歧管上表面的活性装置部分,可与在气体面板上之其它的歧管排列在一个平面上。15.一种气体面板,包括:数个气体进口;一个一件式的气体面板歧管,连接至每一个该数个气体进口的每一个进口上,该一件式的气体面板歧管的每一个界定出一个基本上是横向经过之气体路径,并且在其顶面上具有数个活性装置站;数个可移除的活性装置,可移除地连接至活性装置站的每一个,以接收该气体,该可移除之活性装置的每一个,以一个单一装置连接头连接,以联结活性装置站的进口及出口埠;并且数个气体出口连接至一件式的歧管上。16.根据申请专利范围第15项的气体面板,其中该可移除之活性装置进一步包括:一个关闭阀门、一个压力调节器及一个质量流量控制计。17.根据申请专利范围第16项的气体面板,其该可移除的活性装置进一步包括一个手动关闭阀门。18.根据申请专利范围第15项的气体面板,其中在歧管及活性装置之间的一个介面区域,大体上是平面的,且大体上与气体的流动平行,是从歧管的进口至歧管的出口。19.一种凸缘,用来联结至一件式歧管的一个活性装置位置,包括:一个封口;一个底座,该底座具有一个护圈,用来联结封口至底座上,该底座具有一对气体埠,气体埠包含一个气体进口(以从一件式歧管的一个进口孔洞接收气体),及一个气体出口(以供应气体至一件式歧管的一个出口孔洞);及一个固定于底座上的扣栓,当底座与一件式歧管组合时,扣栓与一件式歧管连接。20.一种预先组合、用于气体面板的活性装置,包括:一个底座;一个黏结于底座的扣板;一个被扣板固定的封口;一个固定于底座上的扣栓;并且延伸穿过底座,用来连接至气体面板的一个歧管上;及在组合底座至歧管之前,将扣栓固定于底座上的一个护圈。21.一种用来做气体面板装配的一件式歧管,其气体面板装配是用来处理气体的,该一件式歧管包括:一件式歧管本体,其具有至少一个侧面延伸的歧管表面,并且具有一个歧管进口,以接收气体,该一件式歧管具有一个内部气体通路,通常在一个侧面的方向、从歧管进口来载带制程气体至歧管出口,该歧管沿着歧管表面而具有数个装置连接埠,以连通内部气体通路,来固定从歧管表面延伸的装置,并且与连接埠连通气体流通;及一个气体出口,其连通内部气体通路的气体,以传送制程气体至工具上。22.根据申请专利范围第21项的一件式歧管,其用于气体面板装配来处理气体,其中的内部气体通路包括:在装置连接埠之间之成对的有角度形成的孔洞,其界定出v形通路,用来将气体从一个装置连接埠运送至下一个装置连接埠。图式简单说明:第一图是一种气体面板系统的一个透视图,包括一个外壳及一个气体面板拖架板;第二图是第一图所示之气体面板的一个透视图;第三图是第二图所示之气体面板的一个顶部正视图;第四图是第二图所示之气体面板的一个底面部份的透视图;第五图是第二图所示之气体歧管一个透视图,带有部份似虚线显示;第六图是另一个实施例之气体面板出口的一个装配分解图,带有部份以虚线显示;第七图是另一个实施例之气体面板进口的一个透视图;第八图是实施本发明气体面板所使用的一个质量流量控制计之透视图;第九图是一个质量流量控制底座之底面部份的图示,其连接于跨接管线的架构(configuration)上,带有气体面板系统的一部份;第十图是质量流量控制器底座的一个装配分解图,显示其在气体面板歧管上的装配细节;第十一图是显示于第十图之可变形的边缘形态(edge-type)封口用元件;第十二图是一个扣板及C封环的装配分解图;第十三图是显示第十二图契合C封环之扣板的一个透视图;第十四图是在质量流量控制计的一部份与气体面板歧管之一的一部份之间的剖面图,其显示C封环与歧管之间契合的细节。第十五图是一个气控阀的装配分解图,其显示凸缘与气体歧管联结的架设装配细节。第十六图是显示第十五图中所使用于装配的一个边缘形态封口用元件的透视图;第十七图是一个跨接线导管的装配分解图;第十八图是一个有部份剖面的装配分解图,其为显示于第十七图之跨接线导管的一个连接接头细节;第十九图是一个有部份剖面的透视图,其显示在气体面板支撑底台上面之气体歧管支架的细节;第二十图是部份分解之气体面板柱的一个透视图,其显示在一些其中连接关系的细节;第二十一图是用于联结阀门至气体歧管之凸缘的一个装配分解图;第二十二图是显示于第二十一图之凸缘的一个剖面图;第二十三图是另一个实施例之气体歧管装配的一个透视图;第二十四图是显示于第二十三图之歧管的一个顶部正视图,带有部份以虚线显示;第二十五图是显示于第二十三图之歧管的一个侧面正视图,带有部份似虚线显示;及第二十六图是显示于第二十三图的已装配气体歧管之一部份的一个剖面图。 |
