| 发明名称 |
Elektronenstrahlquelle und Herstellungsverfahren derselben, Elektronenstrahlquellenvorrichtung und Elektronenstrahlgerät unter Verwendung derselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69518397(D1) |
申请公布日期 |
2000.09.21 |
| 申请号 |
DE19956018397 |
申请日期 |
1995.12.15 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
OHSHIMA, TAKASHI;SHINADA, HIROYUKI;KURODA, KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01J1/304;H01J1/308;H01J9/02;H01J37/073;(IPC1-7):H01J1/30 |
主分类号 |
H01J1/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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