一种透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种新的透明导电薄膜及其制备方法。该薄膜以氧化铟为主氧化物,以六价元素钼或钨为掺杂元素。制备时,在玻璃基板上先镀一层氧化铟作为防护散阻挡层,然后掺杂,控制掺杂元素的掺入量,制得透明导电薄膜氧化铟钼(钨)。该薄膜具有良好的导电性能,制备工艺也简单。

主权项

1.一种透明导电薄膜，以氧化铟为主体，其特征在于以6价元素X为掺杂元素，X的掺入量为总重量的3-5％，这里X为钼或钨。