发明名称 FABRICATION METHOD FOR CONTACT WINDOW OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100265773(B1) 申请公布日期 2000.09.15
申请号 KR19980032753 申请日期 1998.08.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PONG, CHIL KUN;JIN, JOO HYUN
分类号 H01L21/28;H01L21/311;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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