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发明名称
FABRICATION METHOD FOR CONTACT WINDOW OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100265773(B1)
申请公布日期
2000.09.15
申请号
KR19980032753
申请日期
1998.08.12
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PONG, CHIL KUN;JIN, JOO HYUN
分类号
H01L21/28;H01L21/311;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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