发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100266029(B1) 申请公布日期 2000.09.15
申请号 KR19980021440 申请日期 1998.06.10
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOO, SUNG-WOOK
分类号 H01L21/31;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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