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发明名称 Gas delivery system
摘要
申请公布号 GB2347686(A) 申请公布日期 2000.09.13
申请号 GB19990005198 申请日期 1999.03.08
申请人 * TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人 ANDREW ISSAC * JEFFRYES
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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