发明名称 Device for moving an optical element along the optical axis
摘要 <p>Bei einer Vorrichtung zum Verschieben eines optischen Elementes 2 entlang der optischen Achse, insbesondere einer Linse mit großem Durchmesser in einem Objektiv, ist das optische Element 2 von einem Haltering 1 getragen, an dem eine Verstelleinrichtung 8 mit einem Grobverstellantrieb 9 und einem Feinverstellantrieb 10 angreift. Der Haltering 1 ist über Festkörpergelenke 4, die quer zur optischen Achse eine deutliche größere Steifigkeit aufweisen als entlang der optischen Achse, mit einem Stützring 3 verbunden, welcher an einer Fassung angeordnet ist oder einen Teil davon bildet. Die Festkörpergelenke 4 sind derart zwischen dem Haltering 1 und dem Stützring 3 angeordnet, daß der Haltering 1 bei Betätigung der Verstelleinrichtung 8 entlang der optischen Achse verschiebbar ist. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1035426(A2) 申请公布日期 2000.09.13
申请号 EP20000103780 申请日期 2000.02.23
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HOLDERER, HUBERT
分类号 G02B7/04;G02B7/08;G02B21/26;(IPC1-7):G02B7/02;G03F7/20 主分类号 G02B7/04
代理机构 代理人
主权项
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