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发明名称 POSITIONING DEVICE WITH A FORCE ACTUATOR SYSTEM FOR COMPENSATING CENTRE-OF-GRAVITY DISPLACEMENTS
摘要
申请公布号 EP0799439(B1) 申请公布日期 2000.09.13
申请号 EP19960912187 申请日期 1996.05.17
申请人 ASM LITHOGRAPHY B.V. 发明人 VAN KIMMENADE, JOHANNES, MATHIJS, MARIA;VAN DER PAL, ADRIANUS;VAN EIJK, JAN
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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