薄膜钪系阴极及其制备方法

摘要

激光蒸发薄膜钪系阴极及其制备方法，属于电真空元器件领域，本发明提供了一种利用激光束，以一定的能量注射到真空系统中的旋转靶台上，靶由高纯度钨粉及氧化钪粉组成，靶材粒子受热气化蒸发到充满铝酸盐的多孔钨体压制的阴极基体上，形成一定的厚度的含钪薄膜，它即为高发射，低工作温度阴极的核心部分，可达到工作温度８５０℃—９００℃情况下，发射电流密度为５—１０/cm²的水平。

主权项

1、一种薄膜钪系阴极，由阴极支持筒、基底、含钪薄膜及间热式热子组成，其特征在于，基底是采用浸渍铝酸钡钙的多孔钨体制成，铝酸钡钙由摩尔比为4∶1∶1或5∶3∶2的BaO∶CaO∶AL2O3组成，含钪薄膜层覆盖在多孔钨体的表面上，该含钪薄膜层为钨与钪的氧化性化合物的混合膜。