发明名称 THERMAL TREATMENT PROCESS OF POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0885410(B1) 申请公布日期 2000.09.13
申请号 EP19970914803 申请日期 1997.02.27
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 DAMMEL, RALPH, R.;LU, PING-HUNG;SPAK, MARK, A.;ALILE, OGHOGHO
分类号 G03F7/023;G03F7/00;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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