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发明名称
摘要
申请公布号
JP3087290(B2)
申请公布日期
2000.09.11
申请号
JP19900198167
申请日期
1990.07.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/312;C08L77/00;C08L79/08;C09D177/00;C09D179/08;(IPC1-7):C08L79/08
主分类号
H01L21/312
代理机构
代理人
主权项
地址
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