摘要 |
<p>La présente invention concerne une source d'électrons améliorée similaire à plusieurs égards à un ensemble cathode standard pour un canon à électrons. Cette source comprend un émetteur d'électrons (14) entouré d'une électrode antiparasites (16), les électrons émis traversant une électrode d'extraction (28). De plus, l'électrode antiparasites comprend un aimant permanent en forme de petite bague (36) entourant l'ouverture de l'électrode antiparasites par laquelle dépasse la pointe de l'émetteur. Le champ magnétique résultant est dans l'alignement de l'axe de faisceau, et comprend une partie terminale formant un objectif magnétique de courte longueur focale suivant immédiatement la pointe de l'émetteur. Ce champ magnétique collimate le faisceau à électrons avant qu'il n'entre dans l'objectif du canon électrostatique aval, augmentant ainsi l'intensité angulaire effective de l'ensemble cathode. En l'occurrence, les aberrations de cet objectif collimateur sont très faibles, si bien que sa luminosité utile n'est pas réduite. En outre, l'influence des aberrations de la lentille à canon est réduite car on peut utiliser un plus petit angle d'ouverture dans la lentille à canon pour obtenir un courant de faisceau plus fort.</p> |