| 发明名称 |
Reticle having interlocking dicing regions containing monitor marks and exposure method and apparatus utilizing same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6114072(A) |
申请公布日期 |
2000.09.05 |
| 申请号 |
US19980100091 |
申请日期 |
1998.06.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
NARIMATSU, KOICHIRO |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F1/14;G03F1/42;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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