发明名称
摘要
申请公布号 JPS502663(U) 申请公布日期 1975.01.11
申请号 JP19730053982U 申请日期 1973.05.08
申请人 发明人
分类号 F23Q3/00;H01L41/00;H01L41/113;H02N2/00;H02N2/18 主分类号 F23Q3/00
代理机构 代理人
主权项
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