| 发明名称 |
APPARATUS FOR CLEANING CONTACTING SURFACE OF WAFER EXPOSING STAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR200190472(Y1) |
申请公布日期 |
2000.09.01 |
| 申请号 |
KR19950007909U |
申请日期 |
1995.04.18 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, KYU-IN |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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