| 摘要 |
<p>Eine verbesserte thermische Homogenität wird bei einer Vorrichtung und einem Verfahren zum thermischen Behandeln von Substraten, bei dem das Substrat mit einer Heizplatte beheizt wird, dadurch erreicht, dass die Heizplatte über eine Vielzahl von separat ansteuerbaren Heizelementen aufgeheizt, die Temperatur der Heizelemente gemessen, der Aufheizvorgang mit einem PID-Regler geregelt, die Temperatur der von der Heizplatte abgewandten Oberfläche des Substrats ortsaufgelöst gemessen, die Temperaturverteilung auf der Substratoberfläche in Abhängigkeit von den gemessenen Temperaturen ermittelt und Temperatur-Sollwerte für die einzelnen Heizelemente ermittelt und an den PID-Regler weitergeleitet werden.</p> |
