Elektro-optische Abtastsonde

摘要

Die Erfindung betrifft eine elektro-optische Abtastsonde. Die Erfindung umfasst die folgenden Merkmale: DOLLAR A ein elektro-optisches Element in Kontakt mit einer Target-Verdrahtung, die auf der Frontfläche eines zu messenden IC-Wafers angeordnet ist, wobei ein elektrisches Feld über die Verdrahtung auf das elektro-optische Element derart aufgebracht wird, dass die optischen Eigenschaften des elekro-optischen Elementes verändert werden; DOLLAR A ein Modul eines elektro-optischen Abtastsystems, umfassend einen polarisierten Strahlenteiler, ein Wellenblättchen (wave plat) und eine Photodiode zum DOLLAR A Isolieren eines Teiles eines von einer externen Quelle emittierten Laserstrahles, transmittiert durch das elektro-optische Element und reflektiert von einer Fläche des elektro-optischen Elementes, wobei die Fläche der Verdrahtung zugewandt ist; und DOLLAR A Umwandeln des isolierten Teiles in ein elektrisches Signal, wobei das Modul weiterhin umfasst: DOLLAR A eine Einrichtung zum Justieren derjenigen Lichtmenge des Laserstrahles, die von der externen Quelle emittiert und dem Modul eingegeben wird, wobei die Einrichtung in bezug auf die Position des Moduls auf der Seite der externen Quelle angeordnet ist.