| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING BUILDING COMPONENTS, USE THEREOF, AIRBEARING WORKPIECE AND VACUUM TREATMENT CHAMBER |
| 摘要 |
Es werden Bauteile hergestellt unter inniger Verbindung, wie beispielsweise unter Bonden, zweier Materialphasen. Es wird die zu verbindende Oberfläche mindestens der einen Materialphase mittels plasmaaktiviertem Gas, das Stickstoff enthält, vorbeihandelt. |
| 申请公布号 |
WO0048779(A1) |
申请公布日期 |
2000.08.24 |
| 申请号 |
WO2000CH00082 |
申请日期 |
2000.02.14 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT;RAMM, JUERGEN;BECK, EUGEN |
发明人 |
RAMM, JUERGEN;BECK, EUGEN |
| 分类号 |
H01L21/60;B23K1/20;H01L21/56;(IPC1-7):B23K1/20 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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