粘接系统及粘接方法

摘要

在一用粘合剂来粘接第一和第二基盘(或其它板片)的板片粘接系统中,提供一通过插入粘合剂使该第一和第二基盘相互靠近的第一部分,和一用来在该第一和第二基盘之间的间隙内产生一电场的第二部分。该第二部分产生该电场从而使粘合剂变形成锥形以减小其初始接触面积从而防止孔隙被包含在粘合剂中。

主权项

1.一种用来制造一带有夹在第一和第二板片之间的粘合剂薄膜的粘接板片的板片粘接系统，该粘接系统包括：一通过插入粘合剂使第一和第二板片相互靠近以制造粘接板片的板片移动件；和一用来在第一和第二板片之间的间隙内产生一电场的电路。