| 发明名称 |
METHOD OF ETCHING CONDUCTIVE LINES WITHOUT UNDERCUTTING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0748518(B1) |
申请公布日期 |
2000.08.23 |
| 申请号 |
EP19950939712 |
申请日期 |
1995.11.03 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
SHEN, LEWIS |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/768 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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