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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von flächigen Trägern unter Verwendung eines oszillierenden Futters
摘要
申请公布号
DE69425221(D1)
申请公布日期
2000.08.17
申请号
DE19946025221
申请日期
1994.11.10
申请人
SEMICONDUCTOR SYSTEMS, INC.
发明人
PARODI, MICHAEL L.;HURTIG, ROY E.
分类号
B05D1/00;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16
主分类号
B05D1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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