| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Siliziumscheibe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59605585(D1) |
申请公布日期 |
2000.08.17 |
| 申请号 |
DE19965005585 |
申请日期 |
1996.09.07 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
GOEBEL, DR. DR. RER.NAT.;GOEBEL, VESNA |
| 分类号 |
C30B31/02;C30B31/16;(IPC1-7):C30B31/02 |
主分类号 |
C30B31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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