| 发明名称 |
Verfahren zur Züchtung einer Halbleiterverbindungsschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69515926(T2) |
申请公布日期 |
2000.08.17 |
| 申请号 |
DE19956015926T |
申请日期 |
1995.05.18 |
| 申请人 |
SHARP K.K., OSAKA |
发明人 |
ISHIZUMI, TAKASHI;KANEIWA, SHINJI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02;C30B25/12 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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