扫描隧道显微镜功函数信息成像装置

摘要

本实用新型涉及一种扫描隧道显微镜的功函数信息成像装置,包括带探针的扫描器、放大器、比例积分器、模数、数模转换器及计算机装置,其中加设一信号发生器和锁相放大器,其锁相放大器的一个输入端接至所述对数放大器A₂的输出端,另一个输入端与信号发生器连接,其带有功函数信息的输出信号与模数转换器ADC相连,信号发生器输出端同时与高压放大器HA输入端连接。具有既能获得表面精细结构,也可测量表面元素功函数信息之优点。

主权项

1.一种扫描隧道显微镜的功函数信息成像装置，包括携带探针的扫描器、放大器、比例积分器、数模、模数转换器以及计算机装置，其中样品接地，前置放大器A1同相端连至隧道偏压Vb正端，其异相端连接来自探针针尖的电流信号，其输出端信号一路与参考电流Ir经误差信号放大器A3接至比例积分器；另一路接对数放大器A2，隧道偏压Vb负端与样品共地，高压放大器HA的输入端接比例积分器，输出端接至扫描器的Z臂，所述扫描器的X、Y臂输出信号来自计算机装置的扫描控制端数模转换DAC，比例积分器输出端接模数转换器ADC至计算机装置的采集控制端，其特征在于：在对数放大器A2后设一锁相放大器，高压放大器HA前加一信号发生器，锁相放大器的一个输入端接至所述对数放大器A2的输出端，另一个输入端与信号发生器连接，其带有功函数信息的输出信号送至模数转换器ADC，所述信号发生器的调制信号同时与高压放大器HA的输入端连接。