| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100263799(B1) |
申请公布日期 |
2000.08.16 |
| 申请号 |
KR19960022926 |
申请日期 |
1996.06.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHINKAWATA, HIROKI |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/768;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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