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发明名称 Positive resist compositions
摘要
申请公布号 GB0015323(D0) 申请公布日期 2000.08.16
申请号 GB20000015323 申请日期 2000.06.22
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/004;G03F7/022 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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