群组化机台生产物料流程之控制方法

摘要

一种群组化机台生产物料(Lot)流程之控制方法，在每个制程中找出往后制程之群组化机台(Toolgroup)中负载最轻者，再将物料移到该机台所对应的储存装置，以继续下一个制程的进行。于本发明所揭露之控制方法中，在每个制程之步骤中皆先判断下一个制程是否包含群组化机台，当下一个制程仅包含一机台时则该物料直接移往该机台所对应的储存装置;而当下一个制程包含一群组化机台时，则判断该群组化机台的储存装置与下下个群组化机台的储存装置是否重叠，若有重叠的储存装置则将物料移至所有重叠储存装置中负载最小者;若没有重叠的储存装置，则将物料移往下一个制程中负载最小的储存装置中，以使制程得以在减少搬运次数与机台负担最平均之情形下进行，进而达成在工厂生产尖峰与离峰时，皆能平均机台负担之目的。

主权项

1.一种群组化机台(Tool group)物料流程之控制方法, 每个该群组化机台之机台与一储存装 置相对应,该控制方法至少包含下列步骤: 当下一个制程仅包含一该机台时,将该物料移往该 机台所对应之该储存装置中; 当下一个制程的该群组化机台所对应的该储存装 置,与下下个制程的该群组化机台所对应的 该储存装置重叠时,将该物料移往负载最小的该重 叠之该储存装置;及 当下一个制程的该群组化机台所对应的该储存装 置,不与下下个制程的该群组化机台所对应 的该储存装置重叠时,将该物料移往该下一个制程 的该群组化机台中,负载最小的该机台所 对应的该储存装置中。2.如申请专利范围第1项之 控制方法,其中上述之群组化机台至少包含一该机 台。3.如申请专利范围第1项之控制方法,其中上述 之储存装置系一置物架、置物篮、或仓储 (Socket)。4.如申请专利范围第1项之控制方法,其中 上述将该物料移往负载最小的该重叠之该储存装 置之步骤,系在该物料移往该重叠之该储存装置后 ,执行该下一个制程与该下下个制程。5.如申请专 利范围第1项之控制方法,其中上述将该物料移往 负载最小的该重叠之该储存装 置之步骤,包含判断当该重叠之该储存装置是否超 过一负载上限之步骤。6.如申请专利范围第5项之 控制方法,其中上述判断当该重叠之该储存装置是 否超过该负载 上限之步骤,更包含将该物料移往下一个制程的该 群组化机台中,负载最小的该机台所对应 的该储存装置之步骤。7.如申请专利范围第1项之 控制方法,其中上述将该物料移往下一个制程的该 群组化机台中 ,负载最小的该机台所对应的该储存装置之步骤, 系在该物料移往该储存装置后,执行该下 一个制程。8.一种于半导体晶圆厂中,对群组化机 台(Tool group)在制品(Wafer In Process, WIP)流 程之控制方法,每该群组化机台之机台与一储存装 置相对应,该控制方法至少包合下列步骤 : 当下一个制程仅包含一该机台时,则该在制品移往 该机台所对应之该储存装置中; 当下一个制程的该群组化机台所对应的该储存装 置,与下下个制程的该群组化机台所对应的 该储存装置重叠时,将该在制品移往负载最小的该 重叠之该储存装置;及 当下一个制程的该群组化机台所对应的该储存装 置,不与下下个制程的该群组化机台所对应 的该储存装置重叠时,将该在制品移往该下一个制 程的该群组化机台中,负载最小的该机台 所对应的该储存装置中。9.如申请专利范围第8项 之控制方法,其中上述之群组化机台至少包含一该 机台。10.如申请专利范围第8项之控制方法,其中 上述之储存装置系一置物架、置物篮、或仓储 (Socket)。11.如申请专利范围第8项之控制方法,其中 上述将该在制品移往负载最小的该重叠之该储存 装置之步骤,系在该在制品移往该重叠之该储存装 置后,执行该下一个制程与该下下个制程 。12.如申请专利范围第8项之控制方法,其中上述 将该在制品移往负载最小的该重叠之该储存 装置之步骤,包含判断当该重叠之该储存装置是否 超过一负载上限之步骤。13.如申请专利范围第12 项之控制方法,其中上述判断当该重叠之该储存装 置是否超过该负 载上限之步骤,更包含将该在制品移往下一个制程 的该群组化机台中,负载最小的该机台所 对应的该储存装还之步骤。14.如申请专利范围第8 项之控制方法,其中上述将该在制品移往下一个制 程的该群组化机台 中,负载最小的该机台所对应的该储存装置之步骤 ,系在该在制品移往该储存装置后,执行 该下一个制程。15.一种于半导体晶圆厂中,对群组 化机台(Tool group)在制品(Wafer In Process, WIP)流 程之控制方法,每该群组化机台之机台与一储存装 置相对应,该控制方法至少包含下列步骤 : 当下一个制程仅包含一该机台时,则该在制品移往 机台所对应之该储存装置中; 当下一个制程的该群组化机台所对应的该储存装 置,与下下个制程的该群组化机台所对应的 该储存装置重叠时,将该在制品移往负载最小的该 重叠之该储存装置,用以执行该下一个制 程与该下下个制程;及 当下一个制程的该群组化机台所对应的该储存装 置,不与下下个制程的该群组化机台所对应 的该储存装置重叠时,将该在制品移往该下一个制 程的该群组化机台中,负载最小的该机台 所对应的该储存装置中,用以执行该下一个制程。 16.如申请专利范围第15项之控制方法,其中上述之 群组化机台至少包含一该机台。17.如申请专利范 围第15项之控制方法,其中上述之储存装置系一置 物架、置物篮、或仓储 (Socket)。18.如申请专利范围第15项之控制方法,其 中上述将该在制品移往负载最小的该重叠之该储 存装置之步骤,包含判断当该重叠之该储存装置是 否超过一负载上限之步骤。19.如申请专利范围第 18项之控制方法,其中上述判断当该重叠之该储存 装置是否超过该负 载上限之步骤,更包含将该在制品移往下一个制程 的该群组化机台中,负载最小的该机台所 对应的该储存装置之步骤。图式简单说明: 第一图描绘一包含群组化机台之工厂的机台分布 情形; 第二图描绘利用订定机台顺位之控制方法,于第一 图之工厂中执行物料控制之机台负载 图; 第三图描述本发明较所揭露之群组化机台生产物 料流程控制方法的操作流程图; 第四图为第一图之工厂在运用本发明所揭露之控 制方法后,各机台之负载情形图;及 第五图描绘在第一图所示之机台,但具有不同的仓 储分布,且该工厂所生产之产品具有 多样化且量少的机台分布架构图。