发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATES
摘要 <p>Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Reinigen von Substraten, mit wenigstens einem drehbaren Reinigungselement, wird das Substrat für eine effiziente und flüssigkeitssparende Reinigung während der Reinigung gekippt.</p>
申请公布号 WO2000046841(A1) 申请公布日期 2000.08.10
申请号 EP2000000484 申请日期 2000.01.22
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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