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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATES
摘要
<p>Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Reinigen von Substraten, mit wenigstens einem drehbaren Reinigungselement, wird das Substrat für eine effiziente und flüssigkeitssparende Reinigung während der Reinigung gekippt.</p>
申请公布号
WO2000046841(A1)
申请公布日期
2000.08.10
申请号
EP2000000484
申请日期
2000.01.22
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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