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Die Vorrichtung mißt die Positionsänderung eines Stufenspiegels bezüglich eines Referenzspiegels, wenn sich der Stufenspiegel zwischen einer ersten und einer zweiten Position bewegt. Die Vorrichtung umfaßt eine Lichtquelle zum Erzeugen eines ersten und eines zweiten zusammenfallenden Lichtstrahls, wobei der erste Lichtstrahl eine Wellenlänge lambda¶1¶ hat, und wobei der zweite Lichtstrahl eine Wellenlänge lambda¶2¶ hat, wobei lambda¶1¶ = Mlambda¶2¶ gilt. Der erste Lichtstrahl umfaßt zwei orthogonal polarisierte Komponenten, die sich frequenzmäßig um eine erste Schwebungsfrequenz F¶ref¶(lambda¶1¶) unterscheiden. Der zweite Lichtstrahl umfaßt zwei orthogonal polarisierte Komponenten, die sich frequenzmäßig um eine zweite Schwebungsfrequenz F¶ref¶(lambda¶2¶) unterscheiden, wobei F¶ref¶(lambda¶2¶) = MF¶ref¶(lambda¶1¶) gilt, und wobei M eine Ganzzahl ist, die größer als 1 ist. Ein polarisationsabhängiger Strahlteiler richtet eine der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu dem Referenzspiegel, und die andere der orthogonal polarisierten Komponenten jedes Lichtstrahls zu dem Stufenspiegel. Der polarisationsabhängige Strahlteiler kombiniert ferner die orthogonal polarisierten Komponenten, nachdem die orthogonal polarisierten Komponenten entweder von dem Referenzspiegel oder von dem Stufenspiegel reflektiert worden sind. Die Lichtintensitäten der kombinierten Lichtstrahlen werden in einem ersten und einem zweiten Detektor gemessen. Die Ausgangssignale dieser Detektoren werden kombiniert, um eine ...
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