首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 METHOD OF OXIDATION OF SEMICONDUCTOR WAFERS IN A RAPID THERMAL PROCESSING (RTP) SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1025581(A1) 申请公布日期 2000.08.09
申请号 EP19980955450 申请日期 1998.10.14
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 LERCH, WILFRIED;MADER, ROLAND;MUENZINGER, PETER;ROTERS, GEORG
分类号 H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com