发明名称 Method of polishing a surface of copper or an alloy compriding mainly copper
摘要
申请公布号 HK1013093(A1) 申请公布日期 2000.08.04
申请号 HK19980114093 申请日期 1998.12.19
申请人 ONSTREAM, INC. 发明人 JAN HAISMA;PETER WILHELMUS DE HAAS;DIRK KORNELIS GERHARDUS DE BOER;WALTERUS WILHELMUS VAN DEN HOOGENHOF;LAMBERTUS POSTMA
分类号 B24B1/00;C09G1/02;C09K3/14;G11B5/127;G11B5/187;G11B5/31;(IPC1-7):C09G;C09K;G11B 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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