超高真空同轴转动、平移差分馈入装置

摘要

本发明属于真空技术领域,涉及一种对超高真空馈入装置的改进。解决已有技术真空漏气环节多、系统复杂、体积大、造价昂贵的问题。它由真空室1、真空管壁2、内、外密球轴承3和4,内、外轴5和6、内、外固定环7和8、内、外密封圈9和10、内、外档环11和12、低高真空抽气口13和14组成。主要应用于同步辐射及超高真空装置的馈入系统,能保证馈入系统刚性传动,传递误差小并简化系统结构和减少漏气环节。

主权项

1、一种超高真空同轴转动、平移差分馈入装置，它包括真空室1、真空管壁2、内轴5、外轴6，其特征在于：内轴5的外园置于内密珠轴承4的内孔中，在外轴6的内壁及其两端置于内密珠轴承4的外园上，外轴6的外壁置于外密轴承3的内孔中，在外密轴承3的外部安置真空管壁2，内固定环7固定在内轴5上，内密封圈9安置于外轴6的外园上和两个内固定环7之间，内密封圈9的径向与内轴5的外园及外轴6的内壁相接触，内档环11固定在外轴6上，外固定环8固定在外轴6上，外密封圈10安置于外轴6的外园线上和两个外固定环8之间，外密封圈10的径向与外轴6的外园及真空管壁2的内壁相接触，外档环12固定在外轴6上，低真空抽气口13、高真空抽气口14均固定在真空管壁2上，外密珠轴承3和内密珠轴承4由钢球15和保持架16组成，保持架16将每个钢球15分开，按一定次序排列，钢球15直接与内轴5和外轴6及外轴6和真空管壁2接触，且为内轴5和外轴6提供支承和导向。