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发明名称 PHOTORESIST COMPOSITIONS COMPRISING POLYCYCLIC POLYMERS WITH ACID LABILE PENDANT GROUPS
摘要
申请公布号 EP1021750(A1) 申请公布日期 2000.07.26
申请号 EP19980944729 申请日期 1998.09.03
申请人 THE B.F. GOODRICH COMPANY 发明人 GOODALL, BRIAN, L.;JAYARAMAN, SAIKUMAR;SHICK, ROBERT, A.;RHODES, LARRY, F.;ALLEN, ROBERT, DAVID;DI PIETRO, RICHARD, ANTHONY;WALLOW, THOMAS
分类号 G03F7/004;C08F2/46;C08F32/00;C08G61/08;G03C1/72;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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